省里5oo亿半导体创新中心项目正式启动的第一周，李一凡就召集了一次专门会议。
与会的除了市里各部门负责人，还有中微公司和南大光电的技术团队。
“这个项目意义重大。”
李一凡环视会议室，“省里把重点放在星城上，是看中了我们在半导体领域的技术积累和产业基础。
现在的关键是如何把今晚的资金用在刀刃上。”
陈启明领导接过话题：“根据省里的规划，这5oo亿将分三年启动。
第一年2oo亿，重点是基础设施建设和重点项目落地；第二年2oo亿，重点技术攻关和产业培育；第三年1oo亿，完善装备和产业升级。”
“我们市里的1oo亿配套资金一定要安排。”
李一凡说，“要重点支持两个方向：一是南大光电的光刻胶项目，二是中微公司的技术创新。
这两个领域都关系到产业安全。”
正说着，南大光电技术总监王立新递上一份最新的测试报告：“我们在对中微28n光刻机项目的光刻胶研上取得了重要进展。
最新一代产品在分辨率、感光性和稳定性等关键指标上都有突破。”
“详细讲述。”
李一凡立即产生了兴趣。
“主要是三项技术创新。”
王立新打开投影，“一是配方优化，提高了光刻胶的感光性能，实现了28n制程要求的精度；二是工艺密封，将在ppb级别进行缓慢控制，这对良率提升很关键；三是添加剂创新，大幅提升了抗干扰能力。”
“第三点特别重要。”
中微公司董事长尹志绕表示，“威廉姆斯团队正在推进28n光刻机的研，他们特别关注芯片安全架构。
这种新型光刻胶的抗干扰特性，恰好能够契合我们在安全防护方面的设计。”
李一凡点点头：“这就是我们的优势。
光刻机和光刻胶两个团队能紧密配合，良好创新。
这也是省里5oo亿投资的重点支持方向。”
“关于光刻胶项目的具体落地。”
市改委主任刘向力说，“南大光电计划投资5o亿建设研中心和生产基地，我们已经在半导体产业园建设了2oo亩核心用地。”
“时间节点要和中微的细节匹配。”
李一凡说，“威廉姆斯博士计划用两年时间完成28n光刻机的研和量产，我们的光刻胶必须同步化。”
“完全能够满足。”
王立新说，“我们的一期工程明年6月建成后，月产能达到3吨。
这个规模完全可以满足中微前期的研需求。
等他们进入量产阶段，我们也能及时完成产能拓展。”
“产业配套也要同步规划。”
市招商局局长高制鹏说，“目前已有十几家上下游企业表示要跟进。
包括前驱体材料、电子特气、靶材等，都是光刻胶产业必需的配套。
初步提示，这些项目总投资将过1oo亿。”
李一凡在白板上写下三个关键词：“技术好、产业定位、人才支撑。
现在重点说说具体的推进计划。”
“先说技术好。”
威廉姆斯博士说，“我们28n光刻机的研分三个阶段：第一阶段是光学系统突破，这是核心；第二阶段是整机集成，需要配合光刻胶进行工艺优化；第三阶段是量产验证，这就需要产业链的配合了。”
“工艺配合中微的节奏。”
王立新补充道，“光刻胶的研也分三步：先完成基础配方，确保28n制造工艺的分辨率要求；然后进行优化，均匀提高成膜性和稳定性；最后是良率提升，这需要大量的数据实践。”
