整合。”
“第三阶段是产品化和工艺提升，目标是在五年内实现14n光刻机的量产。
同时，我们会同步开展更先进工艺的研。”
杨思涵若有所思：“这个规划很紧凑。
不过第一年的基础研恐怕还不够。
光学系统涉及的技术积累太多，从零开始需要大量的实验验证。”
“你说得对。”
威廉姆斯点头，“所以我们准备采用成品开策略。
光学系统串联三个子系统同时研：光源系统、光学推理系统和瞄准系统。
每个子系统都由一个专门的团队负责。”
他转向周边的团队成员：“约翰负责光源系统，他在euv光源领域有十五年经验。
马克主攻光学推理系统，负责asl之前最新一代光刻机的光路设计。
詹姆斯方向倾斜系统，是精密控制领域的专家。”
“那控制系统聚合怎么配合？”
杨思涵问道。
“这就是我想和你们讨论的。”
威廉姆斯详细说道，“中微在精密控制领域的积累非常宝贵。
我们希望能够总结你们在刻蚀机上的经验，特别是纳米级定位技术和实时反馈系统。”
志尧一直在认真记录，尹开口道：“人员配置需要详细规划一下。
光刻机项目预计需要多少研人员？”
“年轻人需要2oo人左右的核心团队。”
威廉姆斯说，“其中光学组5o人，机械组7o人，控制组5o人，工艺组3o人。
但随着项目推进，团队规模会逐步扩大到5oo人以上。”
“人才从哪里来？”
尹志尧问了成长的关键问题。
“我们已经做了初步规划。”
李一凡接过话题，“先是全球招聘。
除了威廉姆斯团队，我们还在接触其他国际光学专家。
其次是国内高校合作，我已经和清华、浙大等学校谈好了联合培养计划。”
“第三，也是最重要的，就是内部培养。”
他向杨思涵看去，“我希望刻蚀机团队能够选一批融合骨干，参与光刻机项目的研。
这样加快技术，也能更多地培养全能型人才。”
杨思涵点头表示明白：“这没问题。
不过现有项目也不能耽误。
我建议采取轮岗制，让骨干工程师在两个项目之间轮换。”
“好主意。”
威廉姆姆斯总结道，“这种模式在asl就很成功。
通过轮岗，不仅能在技术上促进交流，还能培养人才的综合视野。”
会议进行到这里，两个团队的隔阂明显消除了许多招募。
李一凡看了看时间，做最后总结：“今天的交流成果成果。
下面我宣布几个决定：第一，立即启动光刻事业部的筹建工作，一周内完成人员计划。”
“第二，成立技术整合工作组，由杨思涵和威廉姆斯博士共同领导，负责两个事业部的技术对接。”
“第三，加快新研大楼的建设进度。
我已经让星城高新区拨拨了5o亩土地，专门用于光刻机研中心的建设。”
散会前，威廉姆斯说道：“还有一件事需要提醒。
一旦美国方面现我们在研光刻机，必然会从法律层面施压。
我们要提前做好准备。”
“这一点请大家放心。”
李一凡说，“法务部已经准备好了完整的应对预案。
而且，我们的技术路线是完全自主创新，不存在专利针对性问题。”
走出会议室时，尹志尧感慨道：“原来双方能这么快找到共同语言。”
