厂商已将大量的研发投资押注157nm干式光刻机，此时要他们再开一条技术路线，投资风险太大。
尼康甚至仗着垄断地位要求台积电雪藏林务本。最后，走投无路的林务本，遇到了雄心勃勃的AS斯密特，二者一拍即合。斯密特清楚只有技术才能以小博大，要想在技术上打败尼康和佳能，新的技术路线就是机会。
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