光刻机本身的硬件能否达标，是保证光刻机性能的关键，而软件，就关系到能否正常发挥出性能的作用了，当然，即使把软件给做出来了，也得会用软件，否则的话都是白搭。
像华芯国际和台积电都买了阿斯麦尔的duv光刻机，但是台积电能够做到用duv光刻机生产7nm芯片的技术，而华芯国际却只能做到14nm，便是因为不能很好地运用软件。
当然，在使用软件之前，他们也得先保证眼前这个软件是能够正常工作的。
首先点开软件，经过了一番缓慢地加载后，终于，进入了软件的首页面，全中文操作界面，不包含一个英文字母。
而这时，林晓也走到了其中一台光刻机操作台前，指挥道：“先对整台光刻机进行一遍系统自检。”
“是！”
负责操作这台光刻机的工作人员立即应道，随后便进入了控制面板-系统界面，点击了系统自检。
既然是自检，那自然是检测一下内部每个零部件能否正常运行，当然最关键的，还是检测一下这些机械运行的精度能否达标，以及x光源能否正常激发，并且能否正常被rdx纯硅晶体镜规律衍射等。
经过片刻的加载后，显示器上便出现了进度条，这是自检开始了，不过，光刻机内部依然安静，不像其他机器一样，一运作起来就有各种噪声。
因为，有声音，就说明有震动，而对于光刻机来说，哪怕是一点震动都是致命的，所以光刻机里面一切机械，都基本上做到了无摩擦，像双工作台也都是利用磁悬浮的方式来避免发生震动，当然，双工作台也算是光刻机核心机械中唯二会动的了，然后就是控制透镜的机械臂也会动，其他的核心零部件基本都不会动，变数越多，越难控制。
就这样，时间慢慢过去了，所有人都沉声凝气，或者是面露紧张之色，等待着结果的出现，甚至有人都开始祈祷起来。
因为这一步太关键了，如果自检不通过，那么他们就得重新拆开整部机器，然后检查出现问题的那个零件，找出到底是什么原因导致的不达标，而显然，那又需要花费很多的时间。
而只要自检通过，这就意味着，他们的这个光刻机，是基本合格的！
是可以开始生产芯片的！
所以，他们每个人都期待着，这一次，他们能够直接成功！
就这样，过去了大概几分钟后。
电脑中传来了一声清脆的“叮”，五台电脑屏幕上都出现了绿色的【自检通过】四个字。
见到这，在场的每个人都松了一口气，随后便都为之动容起来。
“成功了！”
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